Litografia este un proces de fabricare prin care se creaza imagini in relief pe un material, in general fotolitic sau polimeric. In ceea ce priveste fabricarea de cipuri, acest proces este cheia deoarece permite producerea structurilor miniaturizate necesare pentru crearea de circuite integrate. Procesul implica aplicarea unui strat subtire de materiale sensibile la lumina pe suprafata unui disc de siliciu, care este apoi expus la un model de lumina stocat intr-un masca. Odata expus la lumina, stratul sensibil se durifica sau se erodeaza in functie de modelul de lumina, permitand crearea de circuite integrate la scara mica.